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薄膜太阳能电池工厂设计标准 GB51370-2019
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7.3 防微振
7.3.1 微振动控制的测试、分析、设计应符合现行国家标准《电子工业防微振工程技术规范》GB51076的有关规定。
7.3.2 工艺设备的防微振结构设计应根据设备制造厂商提供的振动评价方法和微振动控制容许值的要求确定,并应满足设备制造厂商对设备支承部位的动态刚度标准值要求。
7.3.3 地基勘察应符合现行国家标准《岩土工程勘察规范》GB50021和《地基动力特性测试规范》GB/T50269的有关规定。
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1 总则
2 术语
3 基本规定
4 工艺
4.1 一般规定
4.2 基本工序
4.3 工艺区别
4.4 设备配置
5 总图
5.1 厂址选择
5.2 总平面布置
5.3 竖向设计
5.4 交通组织
6 建筑
6.1 一般规定
6.2 建筑防火
6.3 室内装修
7 结构
7.1 一般规定
7.2 结构方案
7.3 防微振
8 气体动力
8.1 冷热源
8.2 大宗气体
8.3 特种气体供应
8.4 压缩空气
8.5 工艺真空和清扫真空
9 供暖、通风、空气调节与净化
9.1 一般规定
9.2 供暖、通风与废气处理
9.3 空气调节与净化
9.4 防烟排烟
10 给水排水
10.1 一般规定
10.2 给水排水
10.3 纯水
10.4 工艺冷却循环水
10.5 废水
10.6 消防
11 电气
11.1 供电系统
11.2 低压配电及电气照明
11.3 信息与自控
11.4 防雷接地
12 节能
附录A 薄膜太阳能电池典型生产工艺流程
本标准用词说明
引用标准名录